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질화막을 입히기 위한 펄스가 인가된 질소 플라즈마 파라미터 거동 = Plasma parameter characteristics in Pulsed N2 Inductively Coupled Plasma for plasma oxynitridationlink 윤주미; Yun, Ju-Mi; et al, 한국과학기술원, 2009 |
컷오프 탐침을 이용한 플라즈마 내에서의 웨이브 투과특성에 관한 연구 = On the wave transmission characteristics in plasma with cutoff probelink 나병근; Na, Byung-Keun; et al, 한국과학기술원, 2012 |
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