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Theoretical investigations for electron heating and plasma transport phenomena in ECR- and TCP- discharge = ECR 및 TCP 방전에서의 전자가열과 플라즈마 수송현상에 대한 이론적인 연구link Yoon, Nam-Sik; 윤남식; et al, 한국과학기술원, 1996 |
전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 식각장치내에서 $SF_6$ 방전시 생성된 F 활성원자의 분포특성 연구 = Study on the characteristics of F radical atoms created from the $SF_6$ discharge in ECR plasma etcherlink 김용진; Kim, Yong-Jin; et al, 한국과학기술원, 1995 |
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