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기판에 수직으로 진동하는 다공 평판 미소구조물의 공기감쇠 김응삼; 조영호; 김문언, 제1회 MEMS 학술대회, pp.115 - 120, 1999-04-17 |
기판에 수직으로 진동하는 다공 평판 미소구조물의 공기감쇠 김응삼; 조영호; 김문언, 대한전기학회 논문지, v.49, no.1, pp.64 - 69, 2000-01 |
기판에 인접한 미소거울의 회전 점성감쇠 김응삼; 한기호; 조영호; 김문언, 대한전기학회 논문지, v.50, no.5, pp.243 - 248, 2001-05 |
비등간격 수평감지 전극구조의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계 한기호; 강태구; 김응삼; 조영호, 대한전기학회 MEMS연구회 학술 발표회, pp.149 - 154, 1998-04-11 |
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