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Photosensitive Metamaterial with Superlensing Effect for 100nm UV Nanolithography 이영섭; 정기훈; 박상길; 전상철; 유석재; 박규환, 제17회 KMEMS 2015 학술대회, (사)마이크로나노시스템학회, 2015-04-04 |
Photosensitive Plasmonic Metamaterial with Silver-dielectric Multilayer for Nanolithography 이영섭; 박상길; 전상철; 정기훈, 제16회 KMEMS 2014 학술대회 , 사단법인 마이크로나노시스템학회, 2014-04-04 |
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