학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2004.2, [ iii, 84 p. ]
반응성 스퍼터링; 에피층; 코발트 나이트라이드; 코발트 실리사이드; 에피택셜 코발트 실리사이드; EPITAXIAL COBALT SILICIDE; CO-N; COBALT NITRIDE; COBALT SILICIDE
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