PZT박막의 건조온도에 따른 전광계수의 측정 및 분석Measurement and analysis of the electro-optic coefficient with drying temperature in PZT thin films
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 노광수 | - |
| dc.contributor.advisor | No, Kwang-Soo | - |
| dc.contributor.author | 이창호 | - |
| dc.contributor.author | Lee, Chang-Ho | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-15T01:31:23Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-15T01:31:23Z | - |
| dc.date.issued | 1998 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=133555&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/50684 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 1998.2, [ viii, 95 p. ] | - |
| dc.description.abstract | 최근들어 광변조기의 역할은 광통신산업에서의 많은 수요로 인해 더욱 그 중요성이 커지고 있는 실정이다. 1차 및 2차 전광계수 값은 이러한 광변조기의 성능을 평가하는데 있어 가장 중요한 요소이다. 또한 적층광학기술을 이용한 광변조기의 제작에 있어 높은 투광도와 우수한 비선형 광학특성을 지닌 박막형태의 재료를 광변조기에 적용하는 것이 더욱 중요하게 되었다. 따라서 본 논문에선 강유전체 박막 중에서 PZT박막의 우수한 전광특성을 이용하여 광변조기로의 적용성에 대해서 연구를 진행하였다. PZT 박막은 졸-겔법을 이용하여 ITO/glass 기판 위에 증착되었다. 주된 공정 변수는 PZT 박막의 성질을 결정하는 것으로 알려진 건조온도를 설정하였다. PZT 박막의 증착 후에 전기적 성질 측정 및 광학 실험에서의 빛의 반사를 위해 Pt dot을 증착하였다. PZT 박막의 결정성 및 전기적 성질(P-E, C-V, C-f) 분석을 위하여 XRD, SEM, 전기적 성질 분석 장비를 사용하였다. PZT 박막의 전광계수 측정을 위하여 two-beam polarization interferometer가 사용되었다. 결론적으로 PZT 박막제조에서의 건조온도가 전광계수의 변화에 미치는 영향을 조사하였으며, 전광계수는 PZT 박막의 결정성 및 전기적 성질에 의존함을 알 수 있었다. | kor |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 건조온도 | - |
| dc.subject | 전광계수 | - |
| dc.subject | PZT 박막 | - |
| dc.subject | 광변조기 | - |
| dc.subject | Optical modulator | - |
| dc.subject | Drying temperature | - |
| dc.subject | Electro-optic coefficient | - |
| dc.subject | PZT thin film | - |
| dc.title | PZT박막의 건조온도에 따른 전광계수의 측정 및 분석 | - |
| dc.title.alternative | Measurement and analysis of the electro-optic coefficient with drying temperature in PZT thin films | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 133555/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 재료공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000963495 | - |
| dc.contributor.localauthor | 노광수 | - |
| dc.contributor.localauthor | No, Kwang-Soo | - |
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