Ta/NiFe/Cu/NiFe/FeMn계 스핀밸브 제조시 Ta/NiFe 계면원자섞임과 AlN 범프 하지층이 스핀밸브의 자기저항과 자기적 특성에 미치는 영향A study on effects of atomic intermixing of Ta/NiFe and of AlN pump underlayer on magnetoresistance and magnetic properties in Ta/NiFe/Cu/NiFe/FeMn spin valve structure