실리콘의 식각 및 산화에 따른 격자 결함 발생과 열적 거동에 관한 투과 전자 현미경 연구A TEM study on the lattice defect generation and thermal behavior by silicon etching and oxidation
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이정용 | - |
| dc.contributor.advisor | Lee, Jeong-Yong | - |
| dc.contributor.author | 이주욱 | - |
| dc.contributor.author | Lee, Ju-Wook | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-15T01:30:07Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-15T01:30:07Z | - |
| dc.date.issued | 1996 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=106620&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/50608 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 1996.2, [ 107 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.title | 실리콘의 식각 및 산화에 따른 격자 결함 발생과 열적 거동에 관한 투과 전자 현미경 연구 | - |
| dc.title.alternative | A TEM study on the lattice defect generation and thermal behavior by silicon etching and oxidation | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 106620/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 재료공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000943435 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이정용 | - |
| dc.contributor.localauthor | Lee, Jeong-Yong | - |
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