$NiCl_2$ 및 마이크로웨이브 가열을 이용한 비정질 Si 박막의 저온결정화에 관한 연구Low temperature crystallization amorphous Si thin films using $NiCl_2$ and microwave heating
- Advisors
- 안병태researcher; Ahn, Byung-Taeresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 재료공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2002
- Identifier
- 174587/325007 / 000985209
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 2002.2, [ v, 144 p. ]
- Keywords
마이크로웨이브; 실리콘; 결정화; 박막트랜지스터; TFT; microwave; Si; Crystallization
- Appears in Collection
- MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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