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NO	Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date)
1	(A) study on the atomic layer deposition of Ti-Al-N thin films using plasmas = 플라즈마를 이용한 Ti-Al-N 박막의 원자층 증착법에 관한 연구 link Lee, Yong-Ju; 이용주; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2003
2	(A) study on the kinetic model the thin film growth in ALD = ALD 박막 성장에 관한 동역학적 model 연구 link Lim, Jung-Wook; 임정욱; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2001

Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date)

Lee, Yong-Ju; 이용주; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2003

Lim, Jung-Wook; 임정욱; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2001

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