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| NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
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| A study on the step coverage modeling of thin films in atomic layer deposition = 원자층 증착법으로 형성된 박막의 단차 피복성 예측을 위한 모델링에 관한 연구link Kim, Ja-Yong; 김자용; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2007 |
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Date issued
- 1 2007