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| NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
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| Ir 하부전극 위에서 PEALD로 증착 된 TiAlO 박막의 특성에 대한 연구 = A study on TiAlO films deposited by plasma enhanced atomic layer depositionlink 주대권; Joo, Dae-Kwon; 안병태; Ahn, Byung-Tae, 한국과학기술원, 2009 |