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용융규소를 통한 질화규소의 α/β상변태와 이에 따른 미세구조 변화에 관한 연구 = A study on the α to βphase transformation and correlated microstructures in silicon nitridelink 박지연; Park, Ji-Yeon; 김종희; Kim, Chong-Hee, 한국과학기술원, 1987 | |
Silicon nitride 화학 증착에서 증착 기구와 계면 전하 및 trap density 에 관한 연구 = A study on the chemical vapor deposition of silicon nitride and the characteristics of interfacial charge and trap densitylink 이경수; Yi, Kyoung-Soo; 천성순; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1987 |
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