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Boron 화학증착에서 즌착기수 및 증팍층 결정특성에 관한 연구 = The deposition mechanism and the deposit structure in chemical vapor deposition of boronlink 박철순; Park, Chul-Soon; et al, 한국과학기술원, 1985 |
반응기체의 분압이 $Al_2O_3$ 의 화학증탁에 미치는 영향에 관한 연구 = Effect of partial pressure of reactantgas on the chemical vapor deposition of $Al_2O_3$link 김재곤; Kim, Jae-Gon; et al, 한국과학기술원, 1982 |
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