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A study on the step coverage modeling of thin films in atomic layer deposition = 원자층 증착법으로 형성된 박막의 단차 피복성 예측을 위한 모델링에 관한 연구link Kim, Ja-Yong; 김자용; et al, 한국과학기술원, 2007 |
(A) study on the ald modeling for process design of multi-component thin films = 다성분계박막 공정설계를 위한 원자층증착법 모델링에 대한 연구link Chung, Hoi-Sung; 정회성; et al, 한국과학기술원, 2008 |
강유전체 박막 커패시터의 특성분석을 위한 물리적 모델링에 관한 연구 = A study on the physical modeling for the characterization of the ferroelectric thin film capacitorslink 김용일; Kim, Yong-Il; et al, 한국과학기술원, 2000 |
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