횡자기장이 걸린 축전결합 플라즈마에 관한 연구

Abstract

본 연구는 1000-1,Double Probe를 가지고, 비대칭적으로 구동되는 횡자기장이 걸린 축전결합플라즈마를 연구하였다. 이온에너지에 가장 큰 영향을 주는 self bias는 파워에 따라 증가하였고, 자기장과 압력에 따라 감소하였다. 그러나 압력이 높은 영역에서는 자기장과 파워에 대한 효과가 매우 작았다. 낮은 압력에서 파워를 증가시키면 전자밀도는 올라가고 전자온도는 내려가는 것을 발견했다. 그러나 높은 압력에서는 이와 반대의 경향이 나타났는데 이것은 파워소모모드의 변화라고 생각할 수 있다. 자기장의 효과는 모든 압력영역에서 전자온도를 올리는 효과로 나타났고, 전자밀도에는 많은 변화를 못주었고 높은 압력에서는 무시될 정도 있다. 본연구의 나오는 모든 데이터는 γ-α-mode transition의 역transition으로 설명할 수 있었다.