대면적 플라즈마를 위한 병렬 공명 안테나의 개발과 그 특성에 관한 연구A study of parallel resonance antenna for large area plasma
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.advisor | Chang, Hong-Young | - |
| dc.contributor.author | 이동석 | - |
| dc.contributor.author | Lee, Dong-Seok | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T07:55:45Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T07:55:45Z | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=158077&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/48529 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2000.2, [ iii, 49 p. ] | - |
| dc.description.abstract | 고밀도 고균일의 대면적 플라즈마를 위하여 병렬 공명 안테나로 불리는 새로운 플라즈마원을 개발하였다. 이 안테나는 병렬로 연결되어 있고 마지막 턴에 축전기가 달려있다. 공명 현상이 일어날때 전류가 최대로 흐르는 것에 착안하여, 축전기의 용량을 조절하므로써 이 안테나에서 LC공명현상을 유도하였다. 축전기를 조절하므로써 안테나에 흐르는 전류를 조절할 수 있으므로, r-방향으로 균일한 밀도의 플라즈마를 생성할 수 있다. 새로운 플라즈마원은 일반 ICP 원보다 낮은 80V의 안테나 전압을 공명점에서 가진다. 500w 아르곤 가스에서 $3\times10^11cm^{-3}$ 의 플라즈마 밀도를 가지며 2.5eV정도의 전자 온도를 가진다. 공명점 부근에서 2%정도의 좋은 균일도를 가진다. 결론적으로 새로 개발한 플라즈마원은 대면적 플라즈마를 위한 높은 밀도와 높은 균일도를 가지고 있음이 확인 되었다. | kor |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | Resonance | - |
| dc.subject | Antenna | - |
| dc.subject | Plasma source | - |
| dc.subject | Large area plasma | - |
| dc.subject | 공명 | - |
| dc.subject | 안테나 | - |
| dc.subject | 플라즈마원 | - |
| dc.subject | 대면적 플라즈마 | - |
| dc.title | 대면적 플라즈마를 위한 병렬 공명 안테나의 개발과 그 특성에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | A study of parallel resonance antenna for large area plasma | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 158077/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 물리학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000983389 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이동석 | - |
| dc.contributor.localauthor | Lee, Dong-Seok | - |
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- PH-Theses_Master(석사논문)
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