학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2008.2, [ x, 103 p. ]
Discrete particle; nano trench; etching; multi scale simulation; large area ccp; 불연속 입자; 나노 트렌치; 에칭; 다중 크기 전산모사; 대면적 ccp
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.