학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 1996.2, [ iii, 46 p. ]
초정밀 운동; 압전소자; 마이크로 스테이지; 6자유도; 병렬 링크 구조; Piezoelectric element; Parallel link mechanism; Micro stage; Micro motion; 6 DOF
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