접촉 역학적 접근에 의한 점탄성/탄성, 점탄성/점탄성 재료간의 접합 에너지 측정A measurement of adhesion energy between viscoelastic/elastic, viscoelastic/viscoelastic materials using contact mechanics approach
반도체 소자의 고집적화와 저장 매체의 대용량화 등의 요구를 충족시킬 수 있는 나노 각인 리소그래피 기술은 폴리머 패턴을 몰드와 분리시키는 과정에서 일어나는 손상을 최소화해야 하며, 이를 위해서는 점탄성 재료인 폴리머와 금형 사이의 접합 에너지를 측정하고 해석하는 것이 필요하다.
본 연구에서는 나노 인덴터를 이용하여 점탄성 재료인 폴리이소부틸렌 시편과 구형 강철 팁 그리고 폴리이소부틸렌 비드 팁의 접촉 실험을 수행하였다. 접촉 실험은 하중 제어를 통해 다양한 하중 변화율에 대한, 점탄성 재료의 접촉 거동을 관찰하였다. 실험에 의해 측정된 시편과 팁 사이의 하중과 변위를 HBK 모델을 통해 해석하여 시간에 따른 접촉 반경과 접촉 영역 가장자리에서의 응력 확대 계수를 구하였다. 그리고 Schapery의 점탄성 재료의 균열에 대한 해석을 이용하여 강철/폴리이소부틸렌 그리고 폴리이소부틸렌/ 폴리이소부틸렌 사이의 접합 에너지를 구하였다.
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학전공,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2003
- Identifier
- 180100/325007 / 020013483
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2003.2, [ vi, 59 p. ]
- Keywords
접촉 역학; 접합 에너지; 점탄성; viscoelastic; contact mechanics; adhesion energy
- Appears in Collection
- ME-Theses_Master(석사논문)
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