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극도로 작은 접촉 저항을 가지는 4 채널 MEMS 스위치 윤용훈; 김창근; 윤준보, 제19회 한국MEMS학술대회, 마이크로나노시스템학회, 2017-03-31 |
외팔보 구조체를 이용한 나노미터 두께 스케일의 화학기상증착 박막의 스트레스를 측정하는 방법론 고승덕; 윤용훈; 이재신; 서민호; 윤준보, 제17회 한국MEMS학술대회, 마이크로나노시스템학회, 2015-04-03 |
전력 분야로의 응용을 위한 신뢰적인 정전구동 MEMS 스위치 윤용훈; 송용하; 고승덕; 한창훈; 윤건식; 서민호; 윤준보, 제17회 한국MEMS학술대회, 마이크로나노시스템학회, 2015-04-03 |
점착 문제 없이 낮은 동작 전압을 가지는 MEMS 스위치를 만들기 위해 제작이 완료된 후 상/하판 사이 간격을 줄이는 영구 변형 방법에 대한 연구 윤용훈; 김수본; 윤건욱; 윤준보, 제 20회 한국MEMS학술대회, 마이크로나노시스템학회, 2018-04-06 |
접합 물질의 모세관힘을 이용한 상온, 상압 MEMS 패키징 한창훈; 김창근; 윤용훈; 서민호; 고승덕; 윤준보, 제19회 한국MEMS학술대회, 마이크로나노시스템학회, 2017-03-31 |
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