학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2007.2, [ xvi, 151 p. ]
유기 오염물; 유리 기판; Nd:YAG 레이저; 레이저 세정; 포토레지스트; photoresist; organic contaminants; glass substrate; Nd:YAG laser; Laser cleaning
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