학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2008. 8., [ vii, 76 p. ]
Piezoelectric microphone; Circular diaphragm; ZnO; Boron etch stop method; MEMS; 압전 마이크로폰; 원형 진동판; 산화아연; 붕소 식각 정지 기술; 초소형기전공학; Piezoelectric microphone; Circular diaphragm; ZnO; Boron etch stop method; MEMS; 압전 마이크로폰; 원형 진동판; 산화아연; 붕소 식각 정지 기술; 초소형기전공학
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