스핀 코팅에서의 액막의 흐름과 유체역학적 안정성The flow and hydrodynamic stability of a liquid film on spin coating

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일정 액적의 액체가 원판의 중앙에 놓여져 있는 경우와 액체가 일정 유량으로 공급되는 경우의 스핀 코팅에서의 액막의 흐름을 조사한다. 우리는 높이 방향으로의 특성 길이가 반경 방향의 특성 길이보다 대단히 작을 때 ($\varepsilon\ll1$ ) 잘 근사하는 박막근사방정식을 제안하고, 그 결과를 Navier-Stokes 방정식의 결과와 비교하였다. 또한 전자의 경우에 $\varepsilon\ll1$ 이고 $\varepsilon\Re\ll1$ 일 때 또는 후자의 경우에 원판의 중심으로부터의 거리가 매우 클 때 ($r\gg1$)의 액체의 자유 표면을 지배하는 미분방정식을 유도하였다. 박막근사방정식을 사용하여 기본흐름과 안정성을 조사하였다. 우리의 기본흐름의 결과를 양쪽 경우에 대해서 몇 가지 수치 계산 및 실험들과 비교하였다. 선형교란방정식을 사용하여 흐름의 국소 안정성 해석을 수행하였다. 그 결과를 후자의 경우에 Navier-Stokes 방정식의 결과 및 실험들과 비교하였다.
Advisors
김문언researcherKim, Moon-Uhnresearcher
Description
한국과학기술원 : 기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2008
Identifier
303533/325007  / 000995103
Language
kor
Description

학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2008. 8., [ vi, 119 p. ]

Keywords

liquid film; thin film; spin coating; rotating disk; local stability analysis; 액막; 박막; 스핀 코팅; 회전 원판; 국소 안정성 해석; liquid film; thin film; spin coating; rotating disk; local stability analysis; 액막; 박막; 스핀 코팅; 회전 원판; 국소 안정성 해석

URI
http://hdl.handle.net/10203/43335
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=303533&flag=dissertation
Appears in Collection
ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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