학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2002.8, [ xiv, 186 p. ]
error compensation; automatic alignment for specimen; precision machine design; ellipsometer; standard uncertainty of measurement; 표준 측정 불확도; 에러 보상; 시편 자동 정렬; 정밀 기계 설계; 타원편광분석기
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