학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과, 2009.2, [ iii, 59 p. ]
Single-armed cluster tools; Petri net model; Parallel chambers; 한팔 클러스터 장비; 페트리넷 모델; 병렬 챔버; Single-armed cluster tools; Petri net model; Parallel chambers; 한팔 클러스터 장비; 페트리넷 모델; 병렬 챔버
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