다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 및 모델링Steady state scheduling and modeling of multi-slot cluster tools
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이태억 | - |
| dc.contributor.advisor | 김영대 | - |
| dc.contributor.advisor | Lee, Tae-Eog | - |
| dc.contributor.advisor | Kim, Yeong-Dae | - |
| dc.contributor.author | 정치현 | - |
| dc.contributor.author | Jung, Chi-Hyun | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T04:08:04Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T04:08:04Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=255394&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/40742 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업공학과, 2006.2, [ iv, 45 p. ] | - |
| dc.description.abstract | 다중슬롯 클러스터 장비란 각 공정모듈의 슬롯의 개수가 2개 이상인 클러스터 장비이다. 따라서 각 공정모듈은 한 번에 여러 개의 웨이퍼를 동시에 가공할 수 있다. 이러한 다중슬롯 클러스터 장비는 기존의 매엽식 클러스터 장비에 비해 생산율을 높일 수 있다는 장점때문에 도입되었으나, 슬롯의 개수가 많아짐에 따라 스케줄링의 복잡도가 높아진다는 문제점이 있다. 다중슬롯 클러스터 장비에서는 로봇팔이 가공이 완료된 웨이퍼가 공정모듈에 투입되기 전에 대기할 수 있는 버퍼의 기능을 하지 못한다. 따라서 매엽식 장비에서 최적 운용 방법으로 알려진 스왑 운용 방식은 다중 슬롯 클러스터 장비에서는 최적을 보장하지 못한다. 본 논문에서는 기존의 hybrid방식을 확장한 새로운 로봇 운용방식을 제안하였으며 가능한 모든 로봇 운용 대안들을 생성하고 각 운용 대안들을 평가하여 최적 대안을 찾아내는 스케줄링 방법을 개발하였다. 그리고, 운용 대안의 평가를 위해 로봇 작업 순서가 주어지면 사이클타임을 구할 수 있는 평가식을 개발하였다. 또한 이러한 스케줄링 방법을 통하여 기존 운용 방법보다 더 좋은 스케줄을 얻을 수 있음을 보였다. 아울러 장비의 사이클 타임과 스케줄을 생성을 위한 이벤트 그래프 모델링 기법을 개발하였다. | kor |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 이벤트 그래프 | - |
| dc.subject | 주기적 스케줄링 | - |
| dc.subject | 반도체 | - |
| dc.subject | Cluster tool | - |
| dc.subject | multi-slot | - |
| dc.subject | event graph | - |
| dc.subject | cyclic scheduling | - |
| dc.subject | semi-conductor | - |
| dc.subject | 클러스터 장비 | - |
| dc.subject | 다중슬롯 | - |
| dc.title | 다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 및 모델링 | - |
| dc.title.alternative | Steady state scheduling and modeling of multi-slot cluster tools | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 255394/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 산업공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 020043560 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이태억 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김영대 | - |
| dc.contributor.localauthor | Lee, Tae-Eog | - |
| dc.contributor.localauthor | Kim, Yeong-Dae | - |
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