유전체도파 현상과, 끝이 Taper 진 광섬유를 이용한, 광섬유와 channel waveguide 결합기

Abstract

Slide glass나 1 $\mu$m가량의 oxide를 입힌 silicon wafer위에 polyurethane이나 epoxy등을 spin coat 시켜서, Dielecric Waveguide를 제작하고, prism으로 coupling 시켜서 waveguiding 현상을 확인 했다. Al이나 Ag을 진공 증착시킨 것을 substrate로 사용하여 Metal Clad Waveguide를 제작하고, prism 2개로 coupling decoupling 시켜서 mode line을 관찰 했다. K.P.R. 의 굴절율이 polyurethane의 굴절율 보다 큰 점을 이용하여 2층 구조의 Thin Film Prism을 제작하고 실제로 빛이 꺾이는 현상을 확인 했다. 49\% HF로 fiber를 etching시켜 Taper Ended Fiber를 제작했다. (100) Silicon Wafer위에 한 쪽 끝이 taper진 V Groove를 파고, taper진 쪽에 Taper Ended Fiber를 끼워서, 새로운 형태의 Fiber to Channel Waveguide Coupler를 제작하고, Fiber와 Channel Waveguide 사이의 coupling과 V Groove를 따라서 Waveguiding 시키는 데 성공 했다.