DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 권영세 | - |
dc.contributor.advisor | Kwon, Young-Se | - |
dc.contributor.author | 김성일 | - |
dc.contributor.author | Kim, Seong-Il | - |
dc.date.accessioned | 2011-12-14T01:45:23Z | - |
dc.date.available | 2011-12-14T01:45:23Z | - |
dc.date.issued | 2000 | - |
dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=157422&flag=dissertation | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/37263 | - |
dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학전공, 2000.2, [ ii, 42 p. ] | - |
dc.description.abstract | 본 논문에서 1.55um의 중심파장을 목표로 표면회절격자를 이용한 레이저 다이오드를 제작하였다. 표면 회절격자는 $CH_4$와 $H_2$ 기체를 이용하여 RIE장비로 만든다. 이 공정은 RF 전력량, 압력, 공정시간 등에 의해 결정되고 본 실험에서 이 파라미터를 최적화하였다. 새로운 광학장치를 이용하여 표면 회절격자의 주기와 현상이 잘 되었는지를 판단하는데 사용하였다. L-I특성곡선과 스펙트럼을 통하여 표면 회절격자에 의한 영향이 있다는 것을 보였다. 또한 RIE에 의한 손상이 고려되어야 할 것이다. | kor |
dc.language | kor | - |
dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
dc.subject | RIE 식각조건 | - |
dc.subject | 표면 회절격자 | - |
dc.subject | DFB 레이저 다이오드 | - |
dc.subject | DFB LD | - |
dc.subject | RIE etching condition | - |
dc.subject | Surface grating | - |
dc.title | 표면 회절격자를 이용한 레이저 다이오드 제작 | - |
dc.title.alternative | Fabrication of LASER diode with surface-grating-etching structure | - |
dc.type | Thesis(Master) | - |
dc.identifier.CNRN | 157422/325007 | - |
dc.description.department | 한국과학기술원 : 전기및전자공학전공, | - |
dc.identifier.uid | 000983093 | - |
dc.contributor.localauthor | 권영세 | - |
dc.contributor.localauthor | Kwon, Young-Se | - |
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