DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.advisor | 이희철 | - |
dc.contributor.advisor | Lee, Hee-Chul | - |
dc.contributor.author | 양기동 | - |
dc.contributor.author | Yang, Kee-Dong | - |
dc.date.accessioned | 2011-12-14 | - |
dc.date.available | 2011-12-14 | - |
dc.date.issued | 2005 | - |
dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=245082&flag=dissertation | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/35297 | - |
dc.description | 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학전공, 2005.2, [ vii, 115 p. ] | - |
dc.description.abstract | 본 논문에서는 HgCdTe반도체에서의 수소화에 의한 접합 형성 과정과 이를 응용한 적외선 감지 소자의 제작 및 성능 평가에 대해 다루었다. 수소화 공정은 플라즈마 밀도가 높으면서 기판에 손상을 가하지 않는 방법으로 제안된 유도 결합 플라즈마에 의해 시행되었다. 제작된 접합의 깊이는 유도 결합 플라즈마의 공정 변수 중 공정 시간과 플라즈마 발생을 위한 RF power에 의해 경향성 있게 제어가 가능하였으며, 측면으로의 접합 확산은 접합의 깊이와 거의 동일한 수준으로 이루어져서 접합 형성 과정이 확산 과정임을 알 수 있었다. | kor |
dc.language | kor | - |
dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
dc.subject | 수소화 | - |
dc.subject | 도핑 | - |
dc.subject | 적외선 감지 소자 | - |
dc.subject | 초점면배열 | - |
dc.subject | IRFPA | - |
dc.subject | hydrogenation | - |
dc.subject | doping | - |
dc.subject | HgCdTe | - |
dc.title | 수소 플라즈마에 의한 HgCdTe기판의 접합 형성에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | A study on HgCdTe junction formation process using hydrogen plasma | - |
dc.type | Thesis(Ph.D) | - |
dc.identifier.CNRN | 245082/325007 | - |
dc.description.department | 한국과학기술원 : 전기및전자공학전공, | - |
dc.identifier.uid | 020005178 | - |
dc.contributor.localauthor | 이희철 | - |
dc.contributor.localauthor | Lee, Hee-Chul | - |
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