학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학부, 2023.2,[x, 88 p. :]
유연 초음파 소자▼a정전용량형 미세가공 초음파 소자▼a패치 형태의 초음파 커플링 물질▼a멤스 공정▼a플렉스 리지드 공정▼a낮은 녹는점을 가지는 금속 합금▼a굴곡 유지; Flexible ultrasonic transducer▼aCapacitive micromachined ultrasonic transducer▼aPatch-type ultrasonic coupling medium▼aMEMS process▼aFlex-to-rigid process▼aLMPA▼aBending modulation
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