나노 입자의 3차원 원자 단위 구조 결정 장치 및 그 결정 방법

Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 데이터 생성 방법은, 측정 대상 나노 물질에 대응하는 하나 이상의 3차원 원자 모델 생성하는 원자 모델 생성 단계; 상기 하나 이상의 3차원 원자 모델에 기초하여 상기 측정 대상 나노 물질에 대응하는 3차원 원자 단위 구조 부피 데이터를 생성하는 3차원 데이터 생성 단계; 상기 3차원 원자 단위 구조 부피 데이터의 적어도 일부에 대하여 미리 결정된 각도 범위 내의 복수의 상이한 각도에 대해3차원 단층촬영을 시뮬레이션하여 틸트 시리즈(tilt series)를 생성하는 틸트 시리즈 생성 단계; 및 상기 틸트 시리즈에 기초하여 상기 3차원 원자 단위 구조 부피 데이터의 적어도 일부에 대하여 3차원 재구성을 수행하여 획득된 3차원 원자 구조 토모그램 부피 데이터 세트를 생성하는3차원 원자 구조 토모그램 부피 데이터 생성 단계를 포함할 수 있다.