공간 초음파 변조기 및 이를 구비하는 초음파 장치와 이를 이용한 진폭변조 초음파의 생성방법Spatial ultrasonic modulator, ultrasonic apparatus having the same and method of generating amplitude modulated ultrasonic waves using the same
공간 초음파 변조기, 이를 구비하는 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 생성방법을 개시한다. 공간 초음파 변조기는 절연기판 상에 서로 교차하는 다수의 제1 및 제2 도전라인들의 교차점인 픽셀에 정렬되고 적어도 하나의 CMUT 소자를 구비하여 초음파를 선택적으로 생성하는 다수의 초음파 생성기를 구비하는 초음파 어레이, 초음파 생성기의 서로 대비되는 이진 동작모드로 각 픽셀을 코딩하여 활성 픽셀 및 비활성 픽셀을 구비하는 코딩 어레이를 생성하는 픽셀 코딩기, 및 코딩 어레이를 구동하여 활성픽셀에서 생성되는 다수 초음파의 합성에 의해 파면이 변형되는 진폭 변조 초음파를 생성하는 초음파 구동기를 포함한다. 입사파의 집음 해상도를 높이고 실시간으로 파면을 용이하게 변경할 수 있다.