본 실시예에 의한 임피던스 측정 장치는 전송 주파수에 상응하는 신호와, 중간 주파수에 상응하는 신호를 생성하는 직접 디지털 합성기; 상기 전송 주파수를 가지는 전류 신호를 출력하는 전류 생성기; 상기 전송 주파수와 상기 중간 주파수의 합 또는 차에 상응하는 주파수를 가지는 신호를 출력하는 단측파대 믹서(SSB mixer); 상기 전류 신호가 타겟에 제공되어 형성된 타겟 신호를 상기 단측파대 믹서의 출력 신호로 믹스하여 상기 타겟 신호를 중간 주파수 대역으로 하향 변환하는 중간 주파수 믹서; 하향 변환된 상기 타겟 신호를 디지털 코드로 변환하는 아날로그 디지털 변환기 및 상기 코드로부터 실수 성분과 허수 성분을 연산하여 출력하는 이산 푸리에 변환(DFT, discrete Fourier transform) 연산부를 포함한다.