실리콘 마스터 몰드 및 그 제조방법Silicon master mold and method of fabricating the same
본 발명은 실리콘 기판을 준비하는 단계; 상기 실리콘 기판 상에, 실리콘산화막 패턴과 상기 실리콘산화막 패턴 상의 실리콘질화막 패턴을 포함하는, 블로킹패드 패턴을 형성하는 단계;상기 블로킹패드 패턴에 의하여 노출되는 상기 실리콘 기판에 대하여 습식 산화 공정으로서 열산화를 수행함으로써 상기 실리콘 기판의 일부로부터 실리콘산화돔(silicon oxide dome)을 형성하는 단계; 및상기 실리콘산화돔을 제거함으로써 상기 실리콘산화돔에 대응되는 음각 패턴을 갖는 실리콘 마스터 몰드를 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 실리콘 마스터 몰드를 형성하는 단계에서, 상기 음각 패턴의 종단면은 각진 부분이 없이 상기 실리콘 마스터 몰드의 상부 표면에서 부드럽게 이어지는 제 1 곡선 및 상기 제 1 곡선에서 이어지는 제 2 곡선이 부드럽게 연결되어 이루어지되, 상기 제 1 곡선과 상기 제 2 곡선이 만나는 지점은 변곡점을 형성하는, 실리콘 마스터 몰드의 제조방법을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2015-12-23
- Application Number
- 10-2015-0185278
- Registration Date
- 2017-07-31
- Registration Number
- 10-1765320-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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