현미경 장치

Abstract

일 실시예에 따른 현미경 장치는, 시편의 영상을 획득하기 위한 빛을 방출하는 가시 레이저 광원, 상기 시편을 고정하기 위한 빛을 방출하는 적외선 레이저 광원, 상기 가시 레이저 광원에서 방출된 빛과 상기 적외선 레이저 광원에서 방출되어 빛을 시편에 집광시키는 대물렌즈, 상기 대물렌즈와 결합하여 상기 대물렌즈를 이동시키는 엑추에이터, 상기 가시 레이저 광원에서 방출되고 상기 시편에서 반사된 빛을 검출하는 광 검출기 및 상기 광 검출기에서 검출된 빛의 신호를 통하여 상기 시편의 영상을 복원할 수 있는 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제어부는 상기 시편의 영상을 획득함에 있어서 상기 엑추에이터에 의한 상기 대물렌즈의 이동을 보상하기 위해 상기 적외선 레이저 광원에서 방출된 빛의 초점을 변조시킬 수 있다.