준-주파수 변조를 이용하여 거리를 측정하는 실리콘 위상배열 기반 라이다 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 라이다 장치는 광신호를 생성하는 광원; 상기 광신호의 광세기를 변조하여 시간에 따라 변조주파수가 일정하게 변하는 준-주파수를 갖는 제1 광신호를 생성하는 광 변조기; 상기 제1 광신호의 광파워를 분기시켜 기준 광신호와 송신 광신호로 분배하는 광 분배기; 상기 송신 광신호를 수신하여 대상체에 조사하는 광 송신기; 상기 대상체로부터 반사된 광신호를 수신하여 수신 광신호를 전달하는 광 수신기; 상기 기준 광신호와 상기 수신 광신호를 혼합하는 광 결합기; 상기 광 결합기로부터 전달된 광신호로부터 중간주파수를 검출하는 밸런스 광 검출기; 및 상기 중간주파수를 측정하여 거리정보를 획득하는 거리 산출기를 포함한다.