질화규소 소결체의 제조방법 및 이에 따라 제조된 질화규소 소결체Method for Preparing Silicon Nitride Sintered Body and The Silicon Nitride Sintered Body Prepared by The Same

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본 발명은 질화규소 분말과 산화물계 소결 조제를 혼합한 원료분말을 열처리하는 단계; 및 상기 열처리하는 단계를 거친 결과물을 소결하는 단계;를 포함하고, 상기 열처리하는 단계를 거친 결과물은 α-질화규소 70 내지 90 중량부 및 β-질화규소 10 내지 30 중량부를 포함하는 것인 질화규소 소결체의 제조방법 및 이에 따라 제조된 질화규소 소결체에 관한 것이다.
Assignee
한국과학기술원, 주식회사 케이씨씨
Country
KO (South Korea)
Application Date
2020-01-06
Application Number
10-2020-0001678
Registration Date
2023-07-11
Registration Number
10-2555662-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/317981
Appears in Collection
MS-Patent(특허)
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