압력 측정장치와 이를 이용한 압력 측정방법

Abstract

압력 측정장치는 에스오엔(SON, Silicon-On-Nothing) 기반의 압력 센서, 진공 챔버, 공진 측정부, 데이터 저장부, 및 압력 출력부를 포함한다. 압력 센서는 진공 캐비티의 일측에 위치하는 멤브레인을 포함한다. 진공 챔버는 압전 액츄에이터와 함께 압력 센서를 내장 및 밀봉하며, 멤브레인의 외측 공간을 측정하고자 하는 압력 환경에 노출시킨다. 공진 측정부는 멤브레인을 향해 레이저 빔을 조사하고, 멤브레인에서 반사된 레이저 신호를 분석하여 멤브레인의 공진 특성을 측정한다. 압력 측정부는 공진 측정부가 측정한 공진 특성을 데이터 저장부에 저장된 공진 특성과 비교하여 해당 공진 특성에 대응하는 압력값을 가져와 출력한다.