유기금속화학기상증착 방법을 이용한 Bi2O2Se 박막 제조방법 및 이를 위한 전구체Method for manufacturing Bi2O2Se thin film using organometallic chemical vapor deposition method and precursor for the same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 강기범 | ko |
| dc.contributor.author | 강민수 | ko |
| dc.contributor.author | 채현준 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-12-21T10:00:58Z | - |
| dc.date.available | 2023-12-21T10:00:58Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/316837 | - |
| dc.description.abstract | 유기금속화학기상증착 방법을 이용한 Bi2O2Se 박막 제조방법으로, 기상의 프리커서를 제 1 온도에서 분해하는 단계; 상기 분해된 성분으로부터 이용한 Bi2O2Se 화합물을 형성하는 단계; 및 상기 Bi2O2Se 화합물을 제 2 온도로 기판 상에 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기금속화학기상증착 방법을 이용한 Bi2O2Se 박막 제조방법이 제공된다. | - |
| dc.title | 유기금속화학기상증착 방법을 이용한 Bi2O2Se 박막 제조방법 및 이를 위한 전구체 | - |
| dc.title.alternative | Method for manufacturing Bi2O2Se thin film using organometallic chemical vapor deposition method and precursor for the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 강기범 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2022-0077625 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2602059-0000 | - |
| dc.date.application | 2022-06-24 | - |
| dc.date.registration | 2023-11-09 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.