굽힘 각도의 조절이 가능한 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 이의 제조 방법CAPACITIVE MICROFABRICATION ULTRASONIC TRANSDUCER WITH ADJUSTABLE BENDING ANGLE AND METHOD OF FABRICATING THEREOF
굽힘 각도의 조절이 가능한 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 이의 제조 방법이 개시된다. 일 실시예 따른 초음파 트랜스듀서는, 기판과 상기 기판의 상부에 각각이 이격되어 적층된 복수의 트랜스듀서 엘리먼트와 상기 복수의 트랜스듀서 엘리먼트 사이에 위치하고 상기 기판을 통과하도록 형성되는 스트레처블 힌지와 상기 기판의 하부를 덮도록 형성되는 제1 폴리머층과 상기 제1 폴리머층의 하부에 형성된 액츄에이터층을 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2021-10-19
- Application Number
- 10-2021-0139283
- Registration Date
- 2022-10-05
- Registration Number
- 10-2452984-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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