DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 김성호 | ko |
dc.contributor.author | 고운산 | ko |
dc.contributor.author | 이가원 | ko |
dc.contributor.author | 이희덕 | ko |
dc.contributor.author | 조병진 | ko |
dc.date.accessioned | 2023-11-21T10:01:29Z | - |
dc.date.available | 2023-11-21T10:01:29Z | - |
dc.date.created | 2023-11-21 | - |
dc.date.issued | 2023-02-14 | - |
dc.identifier.citation | 제 30회 한국반도체학술대회 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/314996 | - |
dc.language | Korean | - |
dc.publisher | SK하이닉스, 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합 | - |
dc.title | IGZO Epitaxial Layer를 통한 HfxZr1-xO2 박막의 저온 결정화 유도 | - |
dc.type | Conference | - |
dc.type.rims | CONF | - |
dc.citation.publicationname | 제 30회 한국반도체학술대회 | - |
dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
dc.identifier.conferencelocation | 강원도 하이원리조트 | - |
dc.contributor.localauthor | 조병진 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김성호 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 고운산 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이가원 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이희덕 | - |
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