Monolithic 3D 집적 공정에서의 ILD 두께에 따른 열 분포 분석
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정재중 | ko |
| dc.contributor.author | 박영근 | ko |
| dc.contributor.author | 백용구 | ko |
| dc.contributor.author | 김희태 | ko |
| dc.contributor.author | 김동빈 | ko |
| dc.contributor.author | 조병진 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-11-21T10:01:20Z | - |
| dc.date.available | 2023-11-21T10:01:20Z | - |
| dc.date.created | 2023-11-21 | - |
| dc.date.issued | 2023-02-14 | - |
| dc.identifier.citation | 제 30회 한국반도체학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/314994 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | SK하이닉스, 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합 | - |
| dc.title | Monolithic 3D 집적 공정에서의 ILD 두께에 따른 열 분포 분석 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 제 30회 한국반도체학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 강원도 하이원리조트 | - |
| dc.contributor.localauthor | 조병진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정재중 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박영근 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 백용구 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김희태 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김동빈 | - |
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