Mechanisms of surface topographic developments by reactive ion beam sputtering : effects of the chemical states of surface and interface반응성 이온빔 스퍼터링에 의한 표면 미세 구조 성장의 메커니즘에 관한 연구 : 표면 및 계면 화학 상태의 영향
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Jung, Kyung-Hoon | - |
| dc.contributor.advisor | 정경훈 | - |
| dc.contributor.author | Kim, Kyung-Joong | - |
| dc.contributor.author | 김경중 | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-13T04:27:44Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-13T04:27:44Z | - |
| dc.date.issued | 1998 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=135115&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/31481 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 화학과, 1998.2, [ xi, 139 p. ] | - |
| dc.language | eng | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | Facet | - |
| dc.subject | Blister | - |
| dc.subject | Surface topograpy | - |
| dc.subject | Depth profiling | - |
| dc.subject | SIMS | - |
| dc.subject | Surface diffusion | - |
| dc.subject | 표면확산 | - |
| dc.subject | 패셋 | - |
| dc.subject | 수포 | - |
| dc.subject | 표면미세구조 | - |
| dc.subject | 깊이분포도 | - |
| dc.subject | 이차이온질량분석법 | - |
| dc.title | Mechanisms of surface topographic developments by reactive ion beam sputtering : effects of the chemical states of surface and interface | - |
| dc.title.alternative | 반응성 이온빔 스퍼터링에 의한 표면 미세 구조 성장의 메커니즘에 관한 연구 : 표면 및 계면 화학 상태의 영향 | - |
| dc.type | Thesis(Ph.D) | - |
| dc.identifier.CNRN | 135115/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 화학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000945801 | - |
| dc.contributor.localauthor | Jung, Kyung-Hoon | - |
| dc.contributor.localauthor | 정경훈 | - |
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- CH-Theses_Ph.D.(박사논문)
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