패턴 형성 방법METHOD OF FORMING PATTERN
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 윤동기 | ko |
| dc.contributor.author | 김소연 | ko |
| dc.contributor.author | 김동협 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-10-13T07:03:37Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-13T07:03:37Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/313337 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 패턴 형성 방법에 관한 것으로서, 기판 상에 나노스크래치를 형성하는 단계; 및 상기 나노스크래치가 형성된 기판 상에 블록 공중합체를 도포하여 자기조립을 유도하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 나노스크래치가 형성된 기판 상에 블록 공중합체의 자기조립을 유도하여 다양한 기판 상에 대면적으로 나노 패턴을 형성할 수 있다. 또한, 나노스크래치로 패턴을 형성하기 때문에 다양한 방향으로 조절하여 패턴을 형성할 수 있다. | - |
| dc.title | 패턴 형성 방법 | - |
| dc.title.alternative | METHOD OF FORMING PATTERN | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤동기 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김소연 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김동협 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원, 울산과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2021-0004337 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2573030-0000 | - |
| dc.date.application | 2021-01-13 | - |
| dc.date.registration | 2023-08-28 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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