기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법 및 장치METHODAND APPARATUS FOR TRANSFERRING REGULARLY-ALIGNED MULTIDIMENSIONAL NANOSTRUCTURES BY NON-DESTRUCTIVE MODIFICATION OF GAS DIFFUSION LAYER SURFACE
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정연식 | ko |
| dc.contributor.author | 조승희 | ko |
| dc.contributor.author | 이규락 | ko |
| dc.contributor.author | 이건호 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-10-12T07:01:43Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-12T07:01:43Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/313270 | - |
| dc.description.abstract | 기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법 및 장치가 제시된다. 일 실시예에 따른 기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법은, 기판 상에 나노구조체를 형성하는 단계; 상기 기판을 제거하는 단계; 가스확산층의 표면에 -OH 기를 형성하는 단계; 및 상기 -OH 기가 형성된 상기 가스확산층에 상기 나노구조체를 전사하는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다. | - |
| dc.title | 기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법 및 장치 | - |
| dc.title.alternative | METHODAND APPARATUS FOR TRANSFERRING REGULARLY-ALIGNED MULTIDIMENSIONAL NANOSTRUCTURES BY NON-DESTRUCTIVE MODIFICATION OF GAS DIFFUSION LAYER SURFACE | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 정연식 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2021-0088972 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2564998-0000 | - |
| dc.date.application | 2021-07-07 | - |
| dc.date.registration | 2023-08-03 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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