이종물질 적층을 통한 몰리브데넘 배선의 신뢰성 및 성능 향상 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이영민 | ko |
| dc.contributor.author | 최정우 | ko |
| dc.contributor.author | 하태곤 | ko |
| dc.contributor.author | 이혁모 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-01-13T06:02:22Z | - |
| dc.date.available | 2023-01-13T06:02:22Z | - |
| dc.date.created | 2023-01-05 | - |
| dc.date.issued | 2022-04-28 | - |
| dc.identifier.citation | 2022년도 대한금속재료학회 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/304459 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한금속재료학회 | - |
| dc.title | 이종물질 적층을 통한 몰리브데넘 배선의 신뢰성 및 성능 향상 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 2022년도 대한금속재료학회 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 창원컨벤션센터 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이혁모 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이영민 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최정우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 하태곤 | - |
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