分散光学系を用いた実時間共焦点顕微鏡분산 광학계를 이용한 실시간 공초점 현미경
【要約】
【課題】走査装置を含めず物体の2次元断面映像を実時間で獲得可能な分散光学系を用いた実時間共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】広帯域光源と、前記光源から出た光を集光してスリット開口上に照明する照明光学系と、前記照明光学系から照明された光のうちスリット領域のみを通過させるスリット開口と、前記スリット開口を通過した光を平行光にするチューブレンズと、前記チューブレンズから出た平行光を波長によって異なる角度で進行させる第1分散光学系と、前記第1分散光学系から出た光を試片上に照明する対物レンズと、前記試片で反射されて前記スリット開口を通過した光を平行光にする第1結像レンズと、前記第1結像レンズを通過した平行光を波長によって異なる角度で進行させる第2分散光学系と、前記第2分散光学系から出た光を結像する第2結像レンズと、前記第2結像レンズで結像された光を電気的な信号に切り換える2次元光電検出器と、を含む。
【選択図】図8
- Assignee
- KAIST
- Country
- JA (Japan)
- Application Date
- 2006-04-18
- Application Number
- 2006114045
- Registration Date
- 2009-05-22
- Registration Number
- 4312775
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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