박막 스트레스 측정장치 및 이를 위한 프로브의 제조방법

Abstract

박막 스트레스 측정장치 및 이에 사용되는 광섬유다발 프로브의 제작방법에 대해 개시하고 있다. 본 발명의 박막 스트레스 측정장치는, 광원부, 광원에서 나온 광을 기판의 이면에 반사시켜 반사된 광을 광 검출기에 입사시키는 센서부, 광 검출기, 검출된 광의 세기를 증폭하여 처리하는 부분으로 구성된다. 센서부분은 광섬유다발 프로브로서, 이는 복수의 입사용 광섬유 가닥들과, 입사용 광섬유 가닥들의 각각의 주위에 대칭적으로 분포하게 위치한 복수의 수신용 광섬유 가닥들과, 이들을 내부에 삽입하여 집적시키기 위한 모세관으로 이루어진다. 이러한 광섬유 가닥들을 배치함에 있어서, 가장 좋은 감도를 갖도록 실제 실험결과와 일치하는 전산시늉 프로그램을 사용할 수 있다. 본 발명에 따르면, 박막 형성시 필연적으로 발생하는 스트레스를 실시간, 초고감도로 측정할 수 있다.프로브, 스트레스, 광섬유, 박막