캔틸레버와광원의집적소자및그제조방법

Abstract

본 발명은 초미세량 센서 등에 응용되는 캔틸레버(cantilever)와 광원(LED, LD 또는 SEL)을 단일 기판 위에 집적한 소자와 그 제조방법에 관한 것이다.상세하게는 광원으로부터 캔틸레버까지의 거리는 광위치 변화의 증폭률에 영향을 미치지 않으므로 광원과 캔틸레버를 하나의 기판 상에 여러 가지 형태로 집적하여, 광원과 캔틸레버를 근접 배치함으로써 정렬이 불필요하며, 소자가 차지하는 공간이 더욱 축소되고, 특히 빛의 초점조절에 대한 제한을 줄인 것이다.본 발명에 의한 집적소자는 캔틸레버의 미세변위를 정확하게 측정하는 것이 가능하므로 미세물리량(가속도, 질량, 변위, 온도 등) 센서에 응용될 수 있으며, SPM(Scanning Probe Microscope) 팁의 변위 측정에 이용할 수 있고, 또한 광소자와 LD(Laser Diode)의 정렬에 이용할 수도 있다.